描述：高能离子注入是一种先进的材料表面改性新技术，其基本原理是：将需处理的工件直接浸泡在等离子体中，在工件上施加负脉冲高压，离子通过工件周围的等离子体鞘层的加速从各个方向垂直的注入工件表面，从而改变零件表面层的物理和化学特性。该设备功能强大，可以注入气体和金属离子，亦可实现增强沉积成膜，在一定深度内，形成与基本之间连续过渡的表面改性层。此改性层的结合力，远优于PVD、CVD涂层。它可明显的提高材料的耐磨、耐腐蚀等性能，从而提高其使用寿命。 应用范围： 可广泛用于机械、化工、半导体、航空、航天及生物医学等行业。它具有不需要工件转动并同时进行全方位离子注入的特点，特别适用于处理形状复杂的高精度、贵重、关键零部件。 主要配置：脉冲磁过滤等离子源 等离子体源,脉冲负高压电源,中频偏压电源
