描述：Phenom XL （电镜腔室 100mm x 100mm）具有飞纳电镜系列以下优点：超高分辨>14 nm，独家采用长寿命 1500 小时、高亮度的 CeB6 灯丝;抽真空时间小于 30 秒光学 + 低倍电子导航定位，结合全自动马达样品台移动观测位置直接观测绝缘体，低真空设计，实现不喷金看绝缘体，且不影响灯丝寿命；自动聚焦，自动调节对比度亮度，拍照简单快速; 放置环境无特殊要求：无需独立实验室，无需超净间；紧凑的一体化设计，可不用防震台摆放在高层;整机最大功率 300W;远程联网检测，第一时间通过远程联网诊断，售后无忧。 同时，Phenom XL做出了如下改进，使其在拥有台式扫描电镜操作简单等特点的前提下，具备大型落地式电镜的高分辨率、多功能和拓展性强等优势： 1、Phenom XL 成为台式扫描电镜中腔室最大的，电镜腔室由原来的 32mm 扩容为 100mm x 100mm，一次可容纳至多 36 个 1/2 英寸样品台，测样效率进一步提高。自动马达样品台的移动范围为 X = 50mm，Y = 50mm（可选配X=100 2、Phenom XL 提供高、中、低三级真空，可以选配二次电子探测器 3、背散射电子探头性能依然优异，背散射电子信号强度跟样品成分衬度有关，可以和能谱良好结合起来 4、低电压下成像优势明显，低电压模式下，可以减少对样品的损伤，穿透，能观察到样品表面更真实的形貌 5、可拓展拉伸台，压力台，大角度倾斜台，高低温样品台等功能性选件 6、Phenom XL 可选配所有的拓展功能软件选件，如 3D 粗糙度重建系统，纤维统计分析测量系统，孔径统计分析测量系统等 PhenomXL 详细技术参数： 温度：操作环境 15℃ - 30℃ 湿度：80%RH 光学放大倍率：3-16 倍 电子放大倍率：最高 100,000 倍 电子光学分辨率：≤20nm 光学照明：光学 CCD 电子光学照明：CeB6 灯丝 电子枪灯丝寿命：优于 1500 小时（单根灯丝，电脑有灯丝使用时间计数功能） 电子枪加速电压： 5kV-20kV 连续可调 电子枪灯丝更换对中方式：软件自动对中 电子光学探测器类型：高灵敏四分割背散射电子探测器，可同时显示成分和形貌信息；二次电子探测器选配. X 射线能谱探测器类型：硅漂移（SＤＤ）探测器类型，可实现微区定向分析，即点击感兴趣的部位，即可完成该点的元素定性定量分析 能谱探测器冷却方式：无液氮消耗，采用半导体 Peltier 效应制冷 元素探测范围：Boron（5）- Americium（95） 能谱探测器能量分辨率：<137eV（Mn Kα) 集成能谱 EDS（能谱探头集成在电镜主机内） 真空系统：低噪音无油隔膜泵，涡轮分子泵 样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能 软件平台：不易受病毒影响的 linux 系统，支持 U 盘及网络存储图像 网络远程检测功能：可通过互联网远程控制及监测仪器 图像观测导航界面：彩色光学全景导航和电子图像局部导航同时显示 图像格式：jpg，tiff，bmp 图像分辨率： 456x456；684x684；1024x1024；2048x2048 自动图像调整功能：自动对焦、自动调节对比度和亮度 观察模式： 标准模式、降低荷电效应模式 图像显示模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式 A（3D）、形貌模式 B（3D） 全景图像拼合功能：可自动连续扫描指定大小区域，每分钟可采集超过 100 张 1024x1024 分辨率的图像，最大分辨率达 1 亿像素，所的图像自动拼合为一副全景图像 能谱拟合功能：可自动或手动进行元素谱峰识别，并可利用可视化峰剥离技术验证重叠峰识别的正确性
